本工藝有3至9個微波激發(fā)單位,根據被處理風量的不同數量不同,微波由于它的頻率相對比較高,在納秒的時間內有效作用于被處理空間(區(qū)域),由于微波的功率 相對較小,因此在激發(fā)能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限,本設計只是把微波作為初頻激發(fā)源,在處理過程中作為一種預激發(fā)能。由于微波的預激功能,極 大的提高等離子體區(qū),極板區(qū)的激發(fā)能力和處理效果,由于微波技術的運用,本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果優(yōu)越。?
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